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產品詳情
簡單介紹：
單靶等離子濺射儀（基礎型）采用二極濺射方式，廣泛用于場發射掃描電鏡或透射電鏡樣品制備或高質量鍍膜試驗。該單靶等離子濺射儀（基礎型）是基于PLC的強大控制系統，全部觸摸屏操作，可手動、半自動控制、全自動控制。
詳情介紹：
○ 產品介紹：
TN-PSP180G-1TA 本型號小型等離子濺射儀，采用二級濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統，全部觸摸屏操作，體積小巧造型美觀，是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。
○ 主要功能：
1、精細、超精細離子濺射導電膜制備；專業級金屬膜層試驗。
2、樣品等離子刻蝕清洗
○ 主要參數：
| 樣品臺 | 尺寸 | 100mm |
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到靶面距離 | 20-35mm 可調 |
| 等離子濺射靶 | 數量 | 2英寸*1 |
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冷卻方式 | 自然冷卻 |
| 真空腔體 | 腔體尺寸 | φ180*210mm |
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觀察窗口 | 全向可視 |
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腔體材料 | 高純石英 |
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開啟方式 | 頂蓋拆卸式 |
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上下蓋材料 | 304不銹鋼 |
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抽氣接口 | KF16 |
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進氣接口 | 1/4英寸卡套接頭 |
| 電源配置 | 數量 | 直流電源*1 |
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輸出功率 | *大150W |
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濺射電壓 | 1200V |
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*大濺射電流 | 50mA |
| 真空系統 | 真空泵類型 | 雙極旋片真空泵 |
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抽氣接口 | KF16 |
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抽氣速率 | 1.1L/s(4m3/h) |
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極限真空度 | ≥0.1Pa |
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真空測量 | 電阻真空規 |
| 其他 | 供電電源 | AC220V 50Hz |
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整機功率 | 1.5kW |
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整機尺寸 | 500mm*320*470mm |
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整機重量 | 30kg |
○ 免責聲明
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